真空泵油


 PFPE真空泵油


真空泵專用之高真空氟醚油是全氟聚醚(PFPE)最重要的應用領域之一。PFPE分子結構中存在著與C-C主鍵鍵合的F和O原子,這兩種原子具有很強的電負性,因此具有很好的化學穩定性、熱穩定性及優異的物理性能。與氯氟烴類潤滑劑相比,全氟聚醚潤滑劑具有更廣泛的使用范圍,同時不存在氯氟烴類在高溫下易蒸發、低溫時變粘變厚的缺點,又由于其分子中不含氯,因而在使用中不會因為潤滑劑受壓而對設備產生腐蝕。

集成電路等離子蝕刻是在真空條件下進行的,必須使用機械真空泵。由于系統中存在腐蝕性氣體,若用礦物真空泵油,則會很快變質。而全氟聚醚具有特殊的化學惰性,而且蒸發性能優良,已經廣泛用作集成電路等離子蝕刻的真空泵油。

Advlub系列氟醚油(PFPE)產品具有以下特性:

全屏蔽結構,高溫穩定性為所有PFPE產品中最佳(250℃以上);

l 無閃點、燃點、不燃燒;

l 低蒸汽壓,低揮發性;

l 金屬、塑料、彈性體相容性;

l 化學惰性,耐水及溶劑性能;

l 良好的輻照穩定性;

l 低表面張力,高粘度和良好的潤滑性;

l 高介電性能;

l 使用安全,無毒,環境友好。


 技術指標:




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